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AB-13
氣體(tǐ)質量流量控制器（Mass Flow Controller，以下(xià)簡稱MFC）可對氣體(tǐ)的質量流量進行精密測量和控制；氣體(tǐ)質量流量計（Mass Flow Meter，以下(xià)簡稱MFM）可對氣體(tǐ)的質量流量進行精密測量。
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氣體(tǐ)質量流量控制器（Mass Flow Controller，以下(xià)簡稱MFC）可對氣體(tǐ)的質量流量進行精密測量和控制；氣體(tǐ)質量流量計（Mass Flow Meter，以下(xià)簡稱MFM）可對氣體(tǐ)的質量流量進行精密測量。
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